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高纯水标准

来 源:中华水网   发布时间:2010-04-15 移动版

1 主题内容与通用范围 
    本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水(以下称高纯水)的级别、技术要求、测试方法和规则。
    本标准适用于去离子处理后的高纯水。
2 引用标准 
    GB11446电子级水及其检测方法
3术语
  3.1 电导率electrical conductivityctricalconduc2ivity
     在规定温度下,1cm3水溶液两相对面之间测得的电阻值的倒数。电导率通常以μS/cm为单位。
    水的理论电导率为0.0548μs/cm(25℃时)。
  3.2电阻率 resistivity
     电导率之倒数。纯水的理论电阻率为18.3MΩ.cm(25℃时)。温度升高时电阻率下降。
  3.3颗粒性物质granular sulbstance
     除气体以外,以非液态形式分散在水中,并形成非均匀相混合物的物质。
  3.4总有机碳(TOC)total organic carbon
     水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被—般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊化的有机物。
  3.5总固体 total solid
     水样蒸发、烘干后残留的固总量。
  3. 6全硅 total silicon
     水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。全硅和可溶性硅之差即叫为胶体硅。
  3.7高纯水high-pure water, ultrapure water
电阻率在5MΩ·cm以上,各种形式存在的物质含量有一定规定限制的很纯净水
  3.8原水raw watcr
 纯化处理之前的水。常用的原水将自来水、井水、河水等。
  3.9终端 terminal。
 高纯水生产流程中经过各道冲化工艺后,水的出口使用地点。可分别称为制水终端和用水
  3.10微量micro-amount
 试样量在1mg左右。
  3.11 痕量 trace amount
 试样量在1μg左右。
  3.12百万分之一(ppm) part per million
重量比的量,相当于每百万重量的溶液中含一单位重量的溶质。在水质分析中,一殷也认为相当
每升水样含杂质的毫克数(mg/L)。
  3.13十亿分之一(ppb)part per billion
重量比的单位,相当于每十亿重量单位重量的溶液中含一单位重量的溶质,在水质分折中,一般
认为相当于短升水样含杂质的微克数(μg/L)。
4高纯水的级别
4.1高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水,分别用符号EH和pH标志。
4. 2电子级高纯水
4.2.1在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有如下特点:
a.具有精细图形结构;
b.对器件表面有特殊要求;
c.工艺对水质有特定的严格要求。
4.2.2电子级高纯水分为两个级别:特级和I级。它们的标志分别是:
特级电子级高纯水:EH—T
一级电子级高纯水:EH—1
4.3普通高纯水
4.3.1普通高纯水用于一般电力半导体器件的制造工艺中。
4.3.2普双高纯水分为三个级别:Ⅰ级、Ⅱ级和Ⅲ级。它们的标志分别是:
I级普通高纯水:pH—Ⅰ
x级普通高纯水:PH—Ⅱ
m级普通高纯水:pH—Ⅲ
4. 4电阻率低于5MΩ·cm的水不能称为高纯水。
5技术要求
5.1电子级高纯水
5.1.1电子级高纯水应考核四项内容:
a. 水中自由离子浓度(主要影响电阻率);
b.水中悬浮微粒的数量和大小;
C. 水中有机物总量;
d. 水中细菌微生物状况。
5. 1. 2电子级高纯水的各项技术指标由表1给出。
 
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